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椭偏仪——SE500

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简介


椭偏仪是一种利用偏振态的变化 后光束探测样品反应技术。不像反射仪,椭偏仪参数(PSI和Del)是在非正常的入射角得到。改变入射角。可以得到更多的数据集,这将有助于精炼模型,减少不确定性和提高用户的数据信心。因此,可变角度椭偏仪比固定角度的椭偏仪系统具有更强大的功能 。目前有两种方法改变入射角,手动或自动模式。

公司设计角度调整模型,通过5度间隔后精确预置槽移动手臂手动调节角度和电动精密测角0.01度分辨率两种模型。此外,测角垂直布局设计,样品可以水平放 置,这是更安全的处理样品时。可靠的和足够的原始数据集,更多膜的性能参数,如薄膜或涂层 厚度,光学常数(折射率n,消光系数k指数)、接口、孔隙度甚至成分可以通过建模。在这个意义上,先进的软件是一个必须为高性能光谱椭偏仪(SE) 工具。我们开发了TFprobe 3 x版软件的系统设置。仿真,测量,分析,数据管理和2D / 3D图形演示的一体机。 

 

系统配置:

 探测器:阵列探测器,

光源:高功率的DUV-Vis-NIR复合光源

软件:版本的软件

入射角度变化:手动调节

 测量种类:薄膜厚度、折射率和消光系数以及多层膜堆叠

计算机:Intel双核处理器、19”宽屏LCD显示器

电源:110–240V AC/50-60Hz,6A

保修:一年的整机及零部件保修

 

规格参数


波长范围:250nm到1700 nm

光斑尺寸:1mm至5mm可变

样品尺寸:直径可达200mm

测量厚度范围*:〜30μm

测量时间:约1秒/位置点

入射角范围:20到90度,5度间隔

 重复性误差*:小于1 Ǻ

 

可选项配置:

用于反射的光度测量或透射测量;

用于测量小区域的微小光斑;

用于改变入射角度的自动量角器;

X-Y成像平台(X-Y模式,取代ρ-θ模式)

加热/致冷平台;

样品垂直安装角度计;

波长可扩展到远DUV或IR范围;

扫描单色仪的配置

联合MSP的数字成像功能,可用于对样品的图像进行测量等。

 

其他选项配置:

用于玻璃基底测量的特殊样品架

用于观察样品区的可视模块

加热或制冷平台

可用于实时在线测量

其他尺寸的样品台

用于 Liquid Cell 的特殊配置

用于单波长或窄波段探测的单色扫描仪配置

 

相关产品


光谱反射分析系列:SR100、SR300、SR500等

微光斑分析系列:MSP100、MSP300、MSP500等

椭偏仪系列:SE200BA、SE200BM等

自动扫描测试平台:M100、M150、M200等

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椭偏仪是一种利用偏振态的变化 后光束探测样品反应技术。不像反射仪,椭偏仪参数(PSI和Del)是在非正常的入射角得到。改变入射角。可以得到更多的数据集,这将有助于精炼模型,减少不确定性和提高用户的数据信心。因此,可变角度椭偏仪比固定角度的椭偏仪系统具有更强大的功能 。目前有两种方法改变入射角,手动或自动模式。

公司设计角度调整模型,通过5度间隔后精确预置槽移动手臂手动调节角度和电动精密测角0.01度分辨率两种模型。此外,测角垂直布局设计,样品可以水平放 置,这是更安全的处理样品时。可靠的和足够的原始数据集,更多膜的性能参数,如薄膜或涂层 厚度,光学常数(折射率n,消光系数k指数)、接口、孔隙度甚至成分可以通过建模。在这个意义上,先进的软件是一个必须为高性能光谱椭偏仪(SE) 工具。我们开发了TFprobe 3 x版软件的系统设置。仿真,测量,分析,数据管理和2D / 3D图形演示的一体机。 

 

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 探测器:阵列探测器,

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软件:版本的软件

入射角度变化:手动调节

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电源:110–240V AC/50-60Hz,6A

保修:一年的整机及零部件保修

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光斑尺寸:1mm至5mm可变

样品尺寸:直径可达200mm

测量厚度范围*:〜30μm

测量时间:约1秒/位置点

入射角范围:20到90度,5度间隔

 重复性误差*:小于1 Ǻ

 

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用于反射的光度测量或透射测量;

用于测量小区域的微小光斑;

用于改变入射角度的自动量角器;

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样品垂直安装角度计;

波长可扩展到远DUV或IR范围;

扫描单色仪的配置

联合MSP的数字成像功能,可用于对样品的图像进行测量等。

 

其他选项配置:

用于玻璃基底测量的特殊样品架

用于观察样品区的可视模块

加热或制冷平台

可用于实时在线测量

其他尺寸的样品台

用于 Liquid Cell 的特殊配置

用于单波长或窄波段探测的单色扫描仪配置

光谱反射分析系列:SR100、SR300、SR500等

微光斑分析系列:MSP100、MSP300、MSP500等

椭偏仪系列:SE200BA、SE200BM等

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暂未实现,敬请期待
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